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                等离子清洗机
                等离子清洗机

                等离子清洗机

                用于对半导体々封装过程中 W/B 前、Molding 前的 L/F、Substrate、BGA 产品清洗,电浆清洗制程中具有@ 可重复性高、可控性强、稼动率高,无污染□ 产生,以及运营成本低的特性;增强基■板表面浸润能力,使银浆与基板间贴合更紧密和更牢固;改善基●板表面浸润能力,以及使︻基板及焊盘表面粗化。
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                产品详情

                产品内容介绍

                等离子清洗机的等离子体是一种有效的清洁方式,无需使用危→险溶剂。在半导体加工中,等离子体清洗通常被用来在焊线前准备晶▲圆表面。去除污染(助焊剂)可以加强粘接的粘性,这有助于延长设备的可靠性和寿命。在生『物医学应用中,等离子体◥清洗对于实现合成生物材料和天然组织之间的兼容性很有用。表面▓改性可以最大限度地减少不良反应,如炎症、感染和血栓形成。

                典型应用:
                ● 电线连接表面▼处理
                ● 去除污染≡物(焊剂)或对表面进行消毒
                ● 促进两个表面之间∮的粘连
                ● 控制表面张力以达到疏水或亲水的表面
                ● 提高生物相容性
                ● 通过交联提高聚合物的性能,减少磨损设◢备的摩擦力

                等离子清洗机适用于半导体封装过程中 W/B 前、Molding 前的 L/F、Substrate、BGA 产品清洗;增强基板表面浸润能力,使银浆与基板间贴合更紧密和更牢固;改善基板〓表面浸润能力,以及使基板及焊盘表面粗化。

                技术特点:
                1、采用全自动程控接口,触摸屏人机★界面,操作简单;
                2、采用独特的腔体设计,清洗均匀▽性好,清洗质量高效;
                3、具有最大500W,13.56MHZ 射频功率●输出,并且可以通过网络匹配控制器快速进行∑阻抗匹配, 使反射功率降至最低。
                4、采用腔体〒内上下两层设计,每层 8 料盒,共计 16料盒(建议客户清洗 8料盒)产品,结合化学反应及物理撞击,清洗周期短●,电浆效率高,清洁效率高
                5、架构简单、占地面积小、生产率高等优↘点,并且保养维护简单且快速,系统运行稳定;
                6、D/A 和 W/B 前深度清洗,使得基◥板和焊盘表面粗化疏水性增强,将银浆与基板间贴合更紧密和更牢固

                产品参数:

                产品型号
                 YH-DZ-PT3000
                使用电压
                 三相▃五线制380V 50Hz
                整机功率
                 小于5kW
                运行环境
                 温度15~25℃,湿度40%~60%RH
                制程参数存储
                 12组
                机╱台总重量
                 850KG
                压缩∞空气压力
                 0.6MPa,10L/Min
                压缩空气流量
                 ≤10LPM
                压缩空气管径
                 外径6mm,内径4mm
                排气接头
                 NW40
                尺寸
                机器尺寸(L*W*H)
                 1093mm*1030mm*2020mm
                内腔尺寸(L*W*H)
                 610*450*467mm
                适用清洗产▃品
                封装基板类型
                 L/F,substrate
                产品宽度
                 ≤ 100mm 可定制
                产品长度
                 ≤ 300mm 可定制
                产品厚度
                 ≤ 1mm 可定制
                单次清洗数量
                 16*25pcS(最多)
                处理能力
                水滴角
                 20 ≤ avg ≤ 45° @ 产品宽度
                工作范围
                料盒要求
                 导电侧面开通风槽
                料盒数量
                 16PCS(最多)
                真空系统
                真空泵输出功率
                 2.5KW(真空泵) +0.75KW(罗茨泵)
                泵速
                 250m3/H ,1Pa.50Hz
                制程压力范围
                 80MMTORR 以下
                真空阀气压检测范围
                 8*10 -3 -1Torr ;制程压力 5-50mtorr
                制〓程气体管接头类型
                 Swage Lock
                制程气体类型
                 Ar 、 95%Ar&5&H 2 ;腐蚀气体除外
                极规对数
                 双层,每层 4 个
                电源
                射频输出〓功率
                 < 1000W
                射频频率
                 射频13.56MHZ,功率 0-500W 可设置,功率可设︽置                                   
                电源品牌
                 进口/国产品牌╲可选
                设备安装参数
                 机台尺寸:1093*1030*2020mm  (含三色灯)
                 制程参数存储:12 组
                 机台总重:850kg
                 运行环境:15-25℃,40%-60%RH
                 整机供电要求:AC 380V,三相五←线良好接地
                 压缩空气压》力:0.6Mpa,10L/Min
                 压缩空气流量:≤10LPM
                 压缩空气管径:外径 6mm,内径 4mm
                 排气接头:NW40
                 整机功率:小于5KW


                等离子清洗机3

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