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无氧烘箱
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无氧烘箱应用于PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求，适合半导体制造、COB封装、医疗卫生、柔性线路▓板印刷、精密模具退火等行业的无氧∩化干燥烘烤工艺要求。
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| 洁净烘箱 |
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洁净烘箱全新开发触摸屏操☆作系统，带高精度PID主控仪，控温精度╲为±0.1℃，自动恒温。可以保存配①方，查看温度曲ω 线，导出升温数据等。精密半导体洁净○车间用无尘洁净烘箱适合于洁净车间内使用，适用于高精密半导体中烘干，胶水固化，精密光学元件清洗后烘干等热处理∏。
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| 高温无氧烘』箱 |
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高性能无氧烘箱能够在氧气浓度低至500ppm的气氛№中在高达500℃的温度下进行热处理【。这使得该系列非常适合 MLCC和LTCC 脱脂，以及各类抗氧化热处理。同时采用由冷却水循环的外部冷却机构，可以在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却，从而缩短处理时间。
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高温高真空烘箱
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高温高真空烘箱干燥会降低沸点，可以用于干燥加热敏感材料（包括粉末）以提取水分，将水╲以外的化合物的损失降至最低。同时结合加热与真空环境，可以对材料进行预热增加材料流动性，然后在环境低压状态可以卐用于材料脱除气※泡工艺。
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