在半导体◆晶圆生产制造过程中,晶圆通常需要放置在烤箱中进※行烘烤操作。一是为了︾在晶圆打上墨印后烤干墨印,二是为了高温性能测试,即测试晶圆产品在特定高温状态下功能是否正常。那么,用于电子半导体元件固化,要选择什么样的烘箱更合适呢?
推荐怡和兴研↘发的半导←体晶圆烤箱。它可【执行晶圆级预烧和磁性退火等前道半导体》功能, 以及组装/晶圆级包封功↓能(例如黏晶固化、稳定性和预烧测试以√及热冲击),以满足其退火、干燥及热◥分解需求,还满足在大规模半导体封装和组装生产中对洁净工艺、低氧化、粘合剂和聚合物的高效固化等要①求。半导∑体烘箱具备以下♂特点:
1、高性能的绝◎缘结构㊣ 。从里到外有内腔、内壳、超细〗玻璃纤维、空气夹层,内胆热量损失少。内胆外箱及门胆机构独々特,极大减少了内腔热量的外传。
2、置于箱体背部的电加热器热量通过侧面风道向前排出,经过干燥物后再被背部的高性能专用风机吸入,形成合理的风道,能使热空气充分对※流,使箱内温度更大限度达到均匀。
3、配置自动充氮气装置,与自动开关风门进行充『氮烘烤;
4、全新开发触摸屏操作系统,带高精度PID主控仪,控温精度为±0.1℃,自动恒温。可以保存配方,查○看温度曲线,导出升温数据等;
5、根据使用要求,可以接受定制。